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  • 2023-12-27 14:14
并预先根据环境中氦的含量对检漏仪进行标定。若需在抽真空方式下准确地找到漏孔的

位置,可以通过对可yi位置喷氦并检验漏率是否有明显的上升来完成。

与抽真空方式相反,嗅探方式是通过测量待测器件内部气体经由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少来获得漏率的大小的。预先向待测器件内充入一定氦气,

封闭测试端口,将嗅探探头连接至检漏仪,用嗅探探头对待测器件表面的可yi部位进行扫描。如果发现漏率明显的上升,便可判断漏孔的位置。这种方式适合在待测器件内部无法或者不能抽真空的情形下检漏。其结构主要由进样系统、离子源、质量分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。但是,由于嗅探方式是通过检测器壁外的大气来进行测量的,大气中的氦会带来一个较高的漏率本底。这个本底虽可通过置零来清除,但仍会降低嗅探方式的灵敏度(嗅探方式xiao可检测漏率小于5×10-6Pa·L/s,而抽真空方式的小于5×10-10Pa·L/s)。
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